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半导体技术在摩尔定律上似乎走入了瓶颈期，而超越摩尔定律的新兴技术却受到了众多公司的青睐，其中MEMS以无处不在的应用潜力攫取了业界大大小小公司的眼球。日前，在由上海微系统与信息技术研究所、传感技术国家重点实验室、《半导体国际》、
MEMS成为超越摩尔定律的突破口
【摘 要】
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半导体技术在摩尔定律上似乎走入了瓶颈期，而超越摩尔定律的新兴技术却受到了众多公司的青睐，其中MEMS以无处不在的应用潜力攫取了业界大大小小公司的眼球。日前，在由上海微系统
【出 处】
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EDN CHINA 电子设计技术
【发表日期】
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2009年12期
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