射频感应耦合等离子体朗缪双探针诊断分析

来源 :真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:daitiejian
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用朗缪探针法对射频感应耦合等离子体进行了诊断分析,得到了圆柱形ICP放电装置的电子密度和电子温度.通过朗缪双探针研究了不同放电气压、不同射频功率、不同放电位置、不同气体组分对等离子体参数的影响.一定功率下,电子密度在30Pa-100Pa之间随气压的增加而增大,在100Pa-160Pa之间随气压的增加而减小,电子温度在30Pa-160Pa之间随气压的增加而减小;一定气压下,电子密度在50W-1900W之间随功率的增加逐渐增大,电子温度在50W-900W之间随功率的增加而减小,在900W-1900W之间随功率的增加而增大.等离子体辉光区域不同位置的电子密度和电子温度各不相同,电子密度大的位置具有较低的电子温度.氩氮混合气体的电子密度随着气压的增加而减小,氮气在混合气体中的比例越高混合气体的电子密度越小;氩氮混合气体相比纯氩有着更高的电子温度,且氮气含量越高混合气体的电子温度也越高.
其他文献
介绍玻璃纤维、碳纤维、粉煤灰纤维及白泥纤维4种无机纤维的概况及性能,并列举实例论述了各无机纤维在造纸工业中的应用及开发研究意义。 This paper introduces the genera
今为旅游热的石柱县黄水区,沟壑纵横、峰峦叠嶂。在这海拔 800~ 1 935米的 508平方公里土地上,散居着土汉人民 4万多人。近年来,黄水人民已脱贫致富。提及黄水农家的逐渐富裕,他们
城市植物多样性是城市生物多样性的重要组成部分,也是改善城市环境的重要组成部分,维持城市生态平衡,应该得到重视.虽然近年来城市园林绿化企业得到了飞速的发展,植物品种不
7月份天气炎热,全国各大花卉批发市场进入销售淡季。红掌、凤梨等观花类盆花销售情况比上月明显下降,观叶类小盆花的销售情况略好。现将上海、北京、广州、成都盆花销售情况
近年,不少地方农产品价格持续低迷,农民种地增产不增收,部分土地撂荒,基层农技站出现生存危机。江西省宁都县的“反租倒包”生产模式较好地解决了这些问题。县农业局及下属各农技
净利润和营业收入指标都是上市公司报告中衡量企业的重要财务数据,营业收入代表着规模实力,净利润则代表着其盈利能力和发展后劲.根据中华纸业杂志社的统计,2016年37家纸业上
期刊
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
大同市位于山西省北部,是我国典型的半干旱农业区,常年干旱少雨、水土流失严重。面对这种恶劣的自然条件,近年来该市积极发展旱作节水农业,其技术体系日臻完善。   完善以农田
去产能、去库存、去杠杆、降成本、补短板,是中央经济工作会议确定的“五大重点任务”。作为推进供给侧结构性改革的重要内容,化解房地产库存具有紧要性和迫切性。近期,国家密集
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥