【摘 要】
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从避免芯片操作机器人与外界环境碰撞的角度进行了安全性设计研究。设计了一种能够感知碰撞发生信号．基于继电器和电磁制动器实现机器人保护的碰撞保护装置，计算分析了本装置对
【机 构】
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辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,大连理工大学精密与特种加工技术教育部重点实验室
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从避免芯片操作机器人与外界环境碰撞的角度进行了安全性设计研究。设计了一种能够感知碰撞发生信号．基于继电器和电磁制动器实现机器人保护的碰撞保护装置，计算分析了本装置对芯片操作机器人定位精度的影响。实验表明．此装置能够精密控制前冲惯性何移〈1mm。适应性强，不影响操作机器人定位精度，有利于提高微流控芯片自动化制造系统的安全性和自动化水平。
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