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采用超声成像方法对微电子器件镀膜靶材钎焊质量进行检测，获得其A扫描和C扫描图像。根据扫描图像判断缺陷的大小、种类及位置，并通过断面金相分析进行验证。试验表明，超声成像检测方法能够高效、快速、全面地反映出钎焊界面的接合状态及内部缺陷，是一种较好的检测钎焊靶材连接质量的无损检测方法。
靶材钎焊连接质量的超声成像检测技术
【摘 要】
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采用超声成像方法对微电子器件镀膜靶材钎焊质量进行检测，获得其A扫描和C扫描图像。根据扫描图像判断缺陷的大小、种类及位置，并通过断面金相分析进行验证。试验表明，超声成像检
【机 构】
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北京工业大学材料科学与工程学院先进材料加工技术研究所
【出 处】
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无损检测
【发表日期】
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2007年5期
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