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PhilipsMRD3710X射线衍射仪由于其灵敏度高、可靠性好、操作方便 ,常常用于薄膜测试分析。采用X射线衍射仪对在 (10 0 )Si表面溅射Pt,并通过退火处理形成的Pt和Si的化合物进行了测试分析 ,从而对PtSi膜的研制提供了可靠的数据。
用X射线衍射仪测试PtSi膜
【摘 要】
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PhilipsMRD3710X射线衍射仪由于其灵敏度高、可靠性好、操作方便 ,常常用于薄膜测试分析。采用X射线衍射仪对在 (10 0 )Si表面溅射Pt,并通过退火处理形成的Pt和Si的化合物进
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2000年A03期
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