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介绍了一种双四极质谱为核心的适合在常压下检漏的多种示漏气体分析仪的结构，工作原理，设计方案，试验方法，试验结果。该仪器具有大气压下检测Ｈｅ浓度为１×１０＾９，Ｎｅ浓度对２×１０＾－７，ＣＦ４浓度为１×１０＾－９的能力。
常压检漏的多种示漏气体分析仪的研制
【摘 要】
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介绍了一种双四极质谱为核心的适合在常压下检漏的多种示漏气体分析仪的结构，工作原理，设计方案，试验方法，试验结果。该仪器具有大气压下检测Ｈｅ浓度为１×１０＾９，Ｎｅ浓度对２×１０＾－７，ＣＦ４浓度为１
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1999年1期
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