【摘 要】
:
在采用高压高功率的甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术高速沉积微晶硅(μc-Si:H)太阳电池过程中,产生的高能离子对薄膜表面的轰击作用会降低薄膜质量和破坏p型
【机 构】
:
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所
论文部分内容阅读
在采用高压高功率的甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术高速沉积微晶硅(μc-Si:H)太阳电池过程中,产生的高能离子对薄膜表面的轰击作用会降低薄膜质量和破坏p型掺杂层(p层)与本征层(i层)之间的界面特性.针对该问题提出在电池中引入低速沉积的p/i界面层的方法,即在P层上先低速沉积一薄层本征μc-Si:H薄膜,然后再高速沉积本征/μc-Si:H薄膜.实验结果表明,引入低速方法沉积的界面层有效地提高了p/i界面特性和i层微结构的纵向均匀性,而随界面层厚度的增加,i层中的缺陷态先降低后增加,这使得界面层厚度存在着最佳值,实验得到低速沉积界面层的最佳厚度为100 nm,用该厚度制备得到的电池比没有界面层的电池光电转换效率提高了约一个百分点.通过优化其他条件,采用0.85 nm/s的沉积速率制备得到单结μc-Si:H太阳电池的光电转换效率可以达到8.11%.
其他文献
对Lurie时滞系统的绝对稳定性问题进行了研究.利用增广的Lyapunov泛函结合自由权矩阵方法,得到了系统基于线性矩阵不等式(LMI)的时滞相关绝对稳定条件.数值实例表明本文方法
本文就其数学成就与学术理论思想两点来论述刘徽的非凡成就,并对他的《九章算术注》、割圆术理论以及极限思想等进行详细描述,以求让广大数学爱好者对刘徽的伟大成就有一个深
志主李微是唐代道王元庆之孙,作为皇室旁支,经历“武周革命”中的命运起伏,以太子詹事而终。对李微墓志的考释,使李唐宗室嗣道王一支的沿袭有一个清晰的脉络,也为研究唐代官
北蒙古碑铭是我国北方少数民族留下的最早的民族文字记录。从性质上来看,其属于来源于口谕和训诫,由汗王或权臣形成,记录历史的石刻档案。其在历史地理、语言文学、宗教文化
目的 了解广州市非新生儿人群乙型肝炎(乙肝)疫苗(HepB)接种状况并评价其保护效果.方法 在广州市12个区、县级市按照多阶段分层整群抽样法,以家庭为单位对20~59岁人群进行横断
利用ns级时间分辨可见光分幅相机和光纤传感器对"强光一号"环.板型水介质开关进行光学测量,得到了电流通道发展图像以及整个放电过程的光强变化信号.实验结果表明:环-板型水
以4,4'-二(1-咪唑基)苯硫醚(BIDPT),4,4'-联苯醚二甲酸(H2oba),对苯二甲酸(p-H2bdc)和Co(NO3)2·6H2O为原料,用溶剂热法合成了2个配位聚合物{[Co(BIDPT)(oba)(H2O)2]}n(1)和{
用磁谐振器和电谐振器组合构成左手材料是设计左手材料的一个重要方法.基于这一设计方法.提出了能够抑制双各向异性的磁谐振器和电谐振器设计原理,即单回路镜像对称设计原理
依据弹塑性断裂理论和实验,研究了含裂纹轴中最危险的单边径向裂纹轴校直过程,提出了多步加载条件下的 J 积分移动理论和单边径向裂纹轴校直行程递推算法.含单边径向裂纹轴校
以双中心模型为基础,在低光强连续光条件下研究了LiNbO2:Fe:Mn晶体在稳态情况下的非挥发双光双步全息存储性能。采用数值方法,通过比较双中心模型中深(Mn^2+/Mn^3+)、浅(Fe^2+/Fe^2+)能级之