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以玻璃基板表面残留的各种微粒(Particles)的去除率为依据,研究TFT—LCD生产清洗工艺中HPMJ的洗净压力、NOZZLE和洗净对象物间的距离等因素对玻璃基板表面Particles清洗效果的影响,探讨这些因素的作用机理,为TFT-LCD生产提供最佳的超高压清洗工艺方法。
TFT—LCD生产中HPMJ清洗工艺的研究
【摘 要】
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以玻璃基板表面残留的各种微粒(Particles)的去除率为依据,研究TFT—LCD生产清洗工艺中HPMJ的洗净压力、NOZZLE和洗净对象物间的距离等因素对玻璃基板表面Particles清洗效果
【机 构】
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南京中电熊猫液晶显示科技有限公司,
【出 处】
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中小企业管理与科技(上旬刊)
【发表日期】
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2015年12期
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