【摘 要】
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<正> 一、引言现代科学遇到了识别与观察大尺寸、大面积的微观世界,以分子或原子的形态呈现出其表面结构。用以测量、加工和修整高集成化的硅片,定位精度达0.1μm;识别高密集
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<正> 一、引言现代科学遇到了识别与观察大尺寸、大面积的微观世界,以分子或原子的形态呈现出其表面结构。用以测量、加工和修整高集成化的硅片,定位精度达0.1μm;识别高密集度、大信息量的天文宇宙及生物图象,定位精度达0.01μm;测量表面粗糙度至1nm,要求的分辨力高达0.1nm。当前微型机械发展方兴未艾,微型传感器、陶瓷与硅片的加工和检测技术要求纳米级精度。为此,需要研制一种新型大位移高精度的分子测量机,以满足高精测量和超微加工的需要,为迅速崛起的纳米技术服务。
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