【摘 要】
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多层膜反射镜是X射线波段和极紫外波段的重要光学部件。碳化硼作为常见的反射膜材料,其薄膜成分及光学常数计算的准确性对反射镜的反射性能具有明显影响。本研究使用直流磁控
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院大学,中国科学技术大学
【基金项目】
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国家重点研发计划(2017YFB0310600)
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多层膜反射镜是X射线波段和极紫外波段的重要光学部件。碳化硼作为常见的反射膜材料,其薄膜成分及光学常数计算的准确性对反射镜的反射性能具有明显影响。本研究使用直流磁控溅射技术制备碳化硼薄膜,利用X射线光电子能谱(XPS)、X射线全反射(XRR)、原子力显微镜(AFM)和同步辐射光源等对试样进行了表征,利用改进的拟合函数拟合了基底和薄膜的反射率曲线。结果表明,非晶碳化硼薄膜的元素化学状态相同,其基本成分包含碳化硼和含氧碳化硼;在5~45 nm波段,薄膜B/C摩尔比为4.23时,反射性能最好,同时其基底与薄膜的电
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