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2.3纳米半导体工艺及其设备影响摩尔定律的寿命和芯片特征尺寸能否进一步缩小的焦点是100nm的尺寸,正好是纳米技术的范畴.所谓纳米技术是以十亿分之一米单位为对象的超精密技术,又通常指0.1～100nm范围内加工或操作单个原子的技术.
摩尔定律与半导体设备(续前)
【摘 要】
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2.3纳米半导体工艺及其设备影响摩尔定律的寿命和芯片特征尺寸能否进一步缩小的焦点是100nm的尺寸,正好是纳米技术的范畴.所谓纳米技术是以十亿分之一米单位为对象的超精密技
【机 构】
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华晶集团无锡市无线电元件四厂
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2003年1期
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