论文部分内容阅读
近日，应用材料公司宣布推出AppliedVantageVulcan快速热处理（RTP）系统，推动最先进纳米级晶体管制造的发展。该系统超越了当前的RTP技术，将退火工艺的精确性和控制性提高到了一个新的水平，为芯片制造商减少了可变性并大幅提高了其高价值高性能器件生产的成品率。
应用材料突破性快速热处理技术推动20纳米工艺发展
【摘 要】
：
近日，应用材料公司宣布推出AppliedVantageVulcan快速热处理（RTP）系统，推动最先进纳米级晶体管制造的发展。该系统超越了当前的RTP技术，将退火工艺的精确性和控制性提高到了一个新
【出 处】
：
中国集成电路
【发表日期】
：
2011年8期
其他文献
对常规转筒干燥机内部结构进行改进设计，增添了二次成球区及抛光区，在提高成球率的同时提高了产品的质量。
基于IACS共同规范研制了逐步破坏法计算完整油船极限强度和破损剩余强度的程序。考虑了船体发生搁浅碰撞后，其剩余有效剖面是非对称的，船体还可能发生不同程度倾斜的实际情况，计
三星电子近日宣布，已经启动了一条全新的存储芯片生产线，此举有可能加剧半导体市场供应过剩的局面，并打击规模较小的竞争对手。三星称，新的生产线采用20纳米工艺，是业内最大、最先
外资企业的存在和发展,既对我国的经济发展有着积极的作用,又会带来诸如冲击民族工业产品,挤占国内市场,甚至造成国有资产流失等负面影响。本文认为,既要用积极的态度看待外
针对目前含油污泥治理方面存在的问题，提出了一种炼厂含油污泥全回流简易蒸馏的新工艺。在实验确定的优化工艺条件下，可使原油回收率达到９７．４％，利用脱油后的泥渣生产用途十分广泛的建
扬州石油化工厂气体分馏装置在塔高、塔径不变的情况下,采用ADV浮阀塔板进行内部构件更换.标定结果表明,生产能力由3.6万t·a-1增加到5.6万t·a-1,装置能耗降低了9.4
随着市场经济体制的不断完善和经济的快速成长，中国企业市场营销体制和活动的升级和深化问题日益紧迫起来。许多企业不仅在进行市场营销结构重组时面临着旧的营销观念、体制和