【摘 要】
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本文介绍了激光干涉轮廓测量技术中最新研制出的五种同轴激光干涉轮廓仪：Huang的光学外差轮廓仪、Downg的双焦轮廓仪、Panter的外差干涉轮廓仪、Offside的干涉轮廓仪、周氏激
【机 构】
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本文介绍了激光干涉轮廓测量技术中最新研制出的五种同轴激光干涉轮廓仪：Huang的光学外差轮廓仪、Downg的双焦轮廓仪、Panter的外差干涉轮廓仪、Offside的干涉轮廓仪、周氏激光轮廓仪的原理及特性。
In this paper, the latest five kinds of coaxial laser interferometer profiler developed by the laser interferometric profiler are introduced: Huang’s optical heterodyne profiler, Downg’s dual-focus profiler, Panter’s heterodyne interference profiler, Offside’s interference profiler , Zhou’s laser profiler principle and characteristics.
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