论文部分内容阅读
采用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统制备了铈（Ce）掺杂金刚石薄膜。对Ce掺杂金刚石薄膜进行了飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）和X射线光电子能谱（XPS）的表征。研究结果表明：在金刚石薄膜的深度方向上,Ce元素的质量分数呈现梯度分布,表层中质量分数最大。当Ce掺杂通量分别为30mL/min、45mL/min和60mL/min时,掺杂金刚石薄膜样品中Ce的质量分数分别为0.53%、0.86%和1.34%。