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俄歇电子能谱(AES)是测定固体表面元素组分的分析技术。由于AES具有很高的空间分辨率和表面灵敏度,并可以通过离子来溅射刻蚀分深度剖面分布。所以它在各种材料,特别是微电材料、光电子材料和纳米薄膜材料的分析中应用广泛。文章轩介绍了PH1595型多探针俄歇电子能谱仪及其在光电子材料分析中的应用。