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采用阳极氧化法腐蚀n型Si（111）片，制备了多孔硅样品．利用荧光分光光度计对样品光致发光和光致发光激发特性进行了研究，发现多孔硅样品的光致发光谱上有2个发光峰，其中心分别位于640nm和565nm．基于前人的报道和本实验结果的分析，认为多孔硅的光致发光来源于纳米硅颗粒中先生载流子弛豫到其表面态上然后发生辐射复合．进一步通过实验证明，640nm处的发光峰与纳米硅颗粒表面的Si-O复合物有关，而565nm处的发光峰与其它发光中心有关．