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采用反应溅射法制备了一系列不同调制周期的TiN/NbN纳米多层膜,并使用X射线衍射分析(XRD),透射电子显微镜(TEM)和显微硬度计表征了薄膜的调制结构,界面结构和显微硬度,结果表明:TiN/NbN多层膜具有周期性良好的调制结构,调制界面清晰、平面;薄膜呈现为多晶外延生长的面心立方结构;薄膜硬度出现异常升高的超硬度效应,并在调制周期为8.3nm左右达到硬度峰值(HK39.0GPa)。