【摘 要】
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目的研究对激光刻蚀图形形貌可能产生影响的几个参数,如激光功率、填充比等,优化激光束刻蚀制备2μm铝膜/PI的工作参数,提高刻蚀质量。方法利用ANSYS软件对激光刻蚀2μm铝膜/PI
【机 构】
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榆林学院能源工程学院,兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
【基金项目】
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榆林学院科研启动基金(17GK09)~~
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目的研究对激光刻蚀图形形貌可能产生影响的几个参数,如激光功率、填充比等,优化激光束刻蚀制备2μm铝膜/PI的工作参数,提高刻蚀质量。方法利用ANSYS软件对激光刻蚀2μm铝膜/PI过程中薄膜铝表面的能量传输及转化过程进行模拟,了解刻蚀形貌与单个脉冲的激光工艺参数的关系。根据模拟结果,使用LSP2000激光器,采用不同的激光输出功率和扫描方式、填充比等参数对样品进行刻蚀。利用扫描电镜等对激光刻蚀制备后的样品表面形貌进行研究,从而获得优化工艺参数。结果采用波长为1064nm的Nd:YAG激光器,利用蛇形扫描方
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