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针对液态金属离子源的发射系统属于轴对称系统的特点,采用动态喷流柱模型,利用模拟电荷法对液态金属离子源发射系统的电场进行了计算,结果表明,该方法计算精度高,非常适合于电子束、离子束系统发射极附近电场的计算.
液态金属离子源发射系统的电场计算
【摘 要】
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针对液态金属离子源的发射系统属于轴对称系统的特点,采用动态喷流柱模型,利用模拟电荷法对液态金属离子源发射系统的电场进行了计算,结果表明,该方法计算精度高,非常适合于
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2005年3期
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