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真空磁控溅射高压稳流源的研制
真空磁控溅射高压稳流源的研制
来源 :首都师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:heyjoey
【摘 要】
:
本文介绍了真空磁控溅射镀膜设备中必不可少的溅射稳流电源的研制.经过半年来的连续运行,证明性能稳定可靠
【作 者】
:
闵子建
【机 构】
:
首都师范大学物理系
【出 处】
:
首都师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
1997年S1期
【关键词】
:
溅射
磁性膜
稳流电源
sputtering
magnetic films
stabilized current supply.
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本文介绍了真空磁控溅射镀膜设备中必不可少的溅射稳流电源的研制.经过半年来的连续运行,证明性能稳定可靠
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