【摘 要】
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对于某些高精度的测量和精密加工,要求大位移量(50mm)、超微动量(纳米级)、且快速(1mm/sec)的定位驱动装置,以使滑架实现纳米精度的扫描和位移控制。我们已设计制造了“匀速
【机 构】
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天津大学精密仪器系,天津大学精密仪器系
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对于某些高精度的测量和精密加工,要求大位移量(50mm)、超微动量(纳米级)、且快速(1mm/sec)的定位驱动装置,以使滑架实现纳米精度的扫描和位移控制。我们已设计制造了“匀速压电马达”(CVPM),它是由两组夹紧器和两组促动器所组成,采用了双压电晶体片。按照交替的“推一拉”方法,并采用了闭环控制补偿其非线性运动误差,实现了连续直线微位移。本文阐述了压电马达的连续微动原理、结构特性、双压电晶片的设计,以及马达效率的计算。
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