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首先采用粉末冶金法制备了钼管坯或钼棒坯,然后通过挤压的加工方式得到满足溅射靶材密度要求的成品钼管靶。通过对管靶的挤压理论分析,得出钼管靶材的挤压工艺参数,包括挤压力(即挤压比)、挤压温度、挤压速度以及润滑剂等,并通过挤压前后组织和性能测试对比结果,得出挤压后的钼管靶材性能优异且能满足客户要求。