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对采用ＴｉＣｌ４－ＣＨ４－Ｈ２反应体系化学气相沉积碳化钛的反应热力学和成核热力学因素进行了分析，并在实验的基础上研究了不同沉积温度下化学气相沉积ＴｉＣ过程的动力学特征，以及在不同的动力学控制机制下气相过饱和度的成核过程对ＴｉＣ涂层的析出形态的影响。在沉积过程中，气相过饱和度和动力学控制机制是控制沉积物的成核过程和析出形态的决定因素。