切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
硅液相外延的最新进展
硅液相外延的最新进展
来源 :物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:judehui01
【摘 要】
:
文章系统综述了硅液相外延最新进展,总结了近期硅液相外延技术在系统改进,低温外延,器件应用等各方面的成果,指出硅液相外延技术将在硅器件制造中发挥更大的作用。
【作 者】
:
江鉴
张仕国
【机 构】
:
浙江大学材料系
【出 处】
:
物理
【发表日期】
:
1996年11期
【关键词】
:
硅液相外延
液相色延系统
超晶格器件
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
文章系统综述了硅液相外延最新进展,总结了近期硅液相外延技术在系统改进,低温外延,器件应用等各方面的成果,指出硅液相外延技术将在硅器件制造中发挥更大的作用。
其他文献
引起呼吸衰竭的原因是什么?
答:引起呼吸衰竭的常见原因有:(1)呼吸中枢的损害和抑制;(2)呼吸肌收缩力减弱或丧失;(3)胸廓或胸膜病变;(4)肺和气道疾病。
期刊
呼吸衰竭
呼吸中枢
胸膜病变
气道疾病
收缩力
呼吸肌
当前功能陶瓷发展动向
简要介绍了功能陶瓷包括电容介质,陶瓷封装,压电瓷,透明铁电陶瓷,铁电薄膜,变阻器,热敏电阻,超导瓷及传感器瓷的最近进展,讨论了陶瓷学和固体物理以及工艺之间的相互作用和渗透,它们将
期刊
功能陶瓷
特种陶瓷
陶瓷
functionceramics
信息新技术进展和信息高速公路
计算机技术与消费电子的结合出现了多媒体技术,多媒体通信的需求导致信息高速公路的产生,计算机、消费电子与通信的结合人类进入信息时代并导致产业结构的重组,文章从个人计算机
期刊
信息高速公路
有线电视网
多媒体技术
永磁材料的微粒取向和织构函数
以铁基稀土永磁材料为例,论述了由大旺细微颗粒组成的磁性材料的性能与颗粒取向的关系,介绍了一些测定微粒取向的研究方法,简述了几种不同的表示微粒取向程度的织构函数,比较了高
期刊
永磁材料
晶粒取向
织构函数
高斯分布
肝癌经皮门静脉时辰化疗的临床监护
经皮导管肝动脉化疗栓塞(TACE)目前被公认为是不能手术切除的肝癌的首选治疗方法之一,我们自2000年起采用经皮门静脉置管时辰化疗联合TACE治疗中晚期肝癌21例,取得满意疗效,现报告
期刊
肝癌
门静脉
时辰化疗
护理
微创非体外循环房间隔缺损封堵术的手术配合
我院2006年10月~2007年6月,对13例房间隔缺损患者实施了微创非体外循环房间隔缺损封堵术,取得满意效果。现将手术配合介绍如下。
期刊
非体外循环
房间隔缺损封堵术
手术配合
信息论在粉末衍射结构分析中的应用—最大熵方法
从粉末衍射数据直接测定晶体结构介材料和晶体学研究的热门课题之一。文章介绍了粉末衍射结构的最大熵法。最大熵法是基于信息论的最大熵原理和最大似然原理的一种方法。由于
期刊
晶体结构
粉末衍射
最大熵法
信息论
crystal structure
powder diffraction
maximum entropy method
二例高龄类天疱疮病人的护理
类天疱疮分瘢痕性类天疱疮和大疱性类天疱疮,是自身免疫性疾病。好发于老年人,年龄在60岁以上,一般无明显前驱症状,皮疹出现前也很少发生黏膜损害。皮疹常局限于某些部位,以腹股沟
期刊
天疱疮
护理
现代椭圆偏振光谱学研究和进展
从原理、实现方法和结果等几方面对现代椭圆偏振光谤学领域的研究工作和新发展作了介绍,着重介绍了近几年在椭圆法基础上发展起来的近正入射反射差别谱的原理、所观察到的新的
期刊
椭扁光谱
光谱学
椭圆偏振
沐舒坦雾化吸入治疗慢性阻塞性肺病急性加重期患者的疗效观察及护理
慢性阻塞性肺疾病(chronic obstructive pulmonary disease,COPD)是以不完全可逆性气流受限为特征的肺部疾病。我院对2005年10月-2006年9月住院的部分COPD患者使用沐舒坦(勃林格
期刊
沐舒坦
慢性阻塞性肺疾病
雾化吸入
护理
与本文相关的学术论文