【摘 要】
：
研究硅掺杂对CVD金刚石薄膜形貌、结构特性和成分的影响。通过向丙酮中加入正硅酸乙酯作为反应气体,在硅基底上沉积硅掺杂CVD金刚石薄膜。金刚石薄膜的表面形貌和显微组织由
【机 构】
：
上海交通大学机械与动力工程学院,苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司,
【出 处】
：
Transactions of Nonferrous Metals Society of China
论文部分内容阅读
研究硅掺杂对CVD金刚石薄膜形貌、结构特性和成分的影响。通过向丙酮中加入正硅酸乙酯作为反应气体,在硅基底上沉积硅掺杂CVD金刚石薄膜。金刚石薄膜的表面形貌和显微组织由场发射电镜表征。金刚石薄膜的成分通过拉曼光谱和X射线衍射(XRD)进行研究。薄膜的表面粗糙度由表面轮廓仪评估。结果表明,硅掺杂会降低晶粒尺寸,促进晶粒细化并抑制三角锥形形貌。XRD研究表明,(111)朝向的晶面显著减少。拉曼光谱研究表明,硅掺杂会促进薄膜中硅碳键的形成以及非金刚石相的增多。在硅碳浓度比为1%时,沉积得到光滑的细晶粒金刚石薄膜。
其他文献
<正>人类发展核动力船舶已有50多年历史,建造过数百艘军用和民用核动力船舶,船用核动力装置已发展到第三代,而其他各种形式的新能源船舶多尚处于探索和起步阶段。因此对于大
核动力是现代舰船的发展方向,而在船舶核动力装置中,汽轮机是重要的动力转换设备,汽轮机的性能直接影响核动力装置的运转。本文以大型船舶核汽轮机为研究对象,用数学模型的方
目的 观察临床护理路径对计划性剖宫产患者的影响.方法 将120例剖宫产产妇随机分为观察组和对照组各60例.观察组采用临床护理路径,对照组采用传统护理方法.观察2组住院时间、
对太（太原）长（长治）高速公路双壁石方路堑的爆破成型进行了应用研究。在地质条件较差的情况下，选择合理爆破参数和施工工艺，成功地应用了双壁路堑洞室加预裂爆破技术，快速地完成石方
目的探讨伪膜性肠炎（PMC）的临床表现及内镜特征。方法 对该院诊治的8例PMC病例进行回顾性分析。结果 所有患者均在使用广谱抗生素后发生PMC,主要临床表现为腹泻、腹痛,其中5
2016年,我国启动实施全面两孩政策。女性作为生育的主体,劳动就业、婚姻家庭等自身权益势必会在生育过程中受到诸多影响。在这一背景下,创新妇女工作,将社会工作方法嵌入其中
文章对钢轨闪光焊接生产过程中矫直时断裂的接头进行了分析,用扫描电镜分析了断口微观形貌,用能谱分析了木纹状断口的成分,用金相方法分析了焊缝显微组织及母材夹杂物的形态
目的分析骨科手术下肢静脉血栓的原因,观察低分子肝素对静脉血栓的疗效。方法选取2009年5月—2011年8月在我院接受治疗的140例下肢静脉血栓患者,随机分为治疗组和对照组,每组
2010年欧洲药品管理局人用药品委员会（CHMP）曾对酮洛芬外用药的光过敏反应和与奥克立林（octocrylene，紫外线防护成分）的联合致敏作用进行了科学评估。CHMP的结论是，含酮洛芬的外用
针对武安水电站工程左岸局部滑坡形成的高陡边坡危岩体稳定性差，不能从坡顶或坡面上钻凿垂直孔或倾斜孔的情况，提出了在上部极不稳定区采用松动爆破、下部不稳定区采用加强松动