论文部分内容阅读
为实现对微小器件的自动检测,研究了基于计算机视觉的激光检测系统。设计了明暗双激光光源的照射方案,能够在一次照射过程中得到器件表面各类材质的清晰光学图像。通过光学显微镜和图像传感器得到器件的数字图像。对数字图像应用相似性和二维相位一致性技术提取出器件图像的特征信息,并与模板信息比对判断器件的性质。实验结果表明,该系统能够准确检测出正常器件,对各种缺陷器件的最低正确检测率达到87%。