监控对准采用的补偿对准测量法

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zzhijian

【摘要】

：

补偿对准测量方法（ＣＡＬＭ）是视觉测量水平向、垂直向、旋转偏差及倍率误差等步进机对准可校正因素的一种新技术。ＣＡＬＭ技术是根据已曝光在抗蚀剂中的线条间隙图形在显影之前，通过准确偏移光

【作者】

：

Ziger D 葛劢冲

【出处】

：

电子工业专用设备

【发表日期】

：

2000年3期

【关键词】

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视觉测量法对准基线校正补偿对准测量法

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补偿对准测量方法（ＣＡＬＭ）是视觉测量水平向、垂直向、旋转偏差及倍率误差等步进机对准可校正因素的一种新技术。ＣＡＬＭ技术是根据已曝光在抗蚀剂中的线条间隙图形在显影之前，通过准确偏移光栅１／２间距再次曝光，然后完全除去已曝光部分的原理建立的。采用这一原理已制作了直观显示可校正因素的试验片。ＣＡＬＭ读数与盒中盒（ＢＢ）测量比较的测算３σ值精度为０．０３μｍ。ＣＡＬＭ读数与ＢＢ测量之间的线性度保持在±０

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