【摘 要】
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目前激光微型加工主要用于微电子学、微型机械加工、微光学领域，本文对它在这几方面的应用情况及其他方面的前景作一介绍。1 微电子学在微电子学中，激光工艺广泛用于以下几类
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目前激光微型加工主要用于微电子学、微型机械加工、微光学领域，本文对它在这几方面的应用情况及其他方面的前景作一介绍。1 微电子学在微电子学中，激光工艺广泛用于以下几类工序：●激光光刻、集成电路修复、编码和微标志等；●激光微调电子元件：电阻、石英谐振腔、滤波器
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