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在引入工艺可靠性基本概念的基础上 ,具体介绍相关的关键技术 ,并指出工艺可靠性的发展方向。
工艺可靠性及其关键技术
【摘 要】
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在引入工艺可靠性基本概念的基础上 ,具体介绍相关的关键技术 ,并指出工艺可靠性的发展方向。
【机 构】
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西安电子科技大学微电子所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2000年3期
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