【摘 要】
：
本文提出一种用高压蒸煮来处理LPCVD氮化硅膜的表面,可以抑制使用中慢氧化的方法。使用这种处理可以提高pH-ISFET的灵敏度、线性响应范围和稳定性。在此基础上,再用HF进行表
【机 构】
：
南开大学电子科学系 天津 300071
论文部分内容阅读
本文提出一种用高压蒸煮来处理LPCVD氮化硅膜的表面,可以抑制使用中慢氧化的方法。使用这种处理可以提高pH-ISFET的灵敏度、线性响应范围和稳定性。在此基础上,再用HF进行表面改性处理,不仅使pH-ISFET的灵敏度提高到接近能斯特(Nernst)理论值,而且稳定性也有一定的改善。
This paper presents a method of treating the surface of an LPCVD silicon nitride film by autoclaving to suppress slow oxidation during use. Use this treatment can improve the pH-ISFET sensitivity, linear response range and stability. On the basis of this, the surface modification with HF again not only increases the sensitivity of pH-ISFET close to the Nernst theory, but also improves the stability.
其他文献
今年头五个月，含山县共发生火灾２７起，直接经济损失５２万多元，与去年同期相比，火灾起数和经济损失都有明显上升。其中家庭火灾占到四成以上，家庭防火不容忽视。 近年来，随着城乡居民生活
７月１日，在中国共产党成立八十 周年的伟大日子，上海市消防网站正式 开通运行。上海消防网站页面美观大方， 栏目设置全面合理，内容丰富，信息量 大，服务功能突出，具有浓郁的消防特 色，集
湖北省福利彩票发行工作历经三年磨砺而奋起,2003年实现销量7.88亿元,市场份额达到52％。今年,省民政厅党组将福彩发行列为5项重点工作之一,提出了发行10亿元的目标。为此,省
●正式确立各级纪委为党内监督的专门机关。●统一规定十项监督制度,形成全面整体推进态势。●首次规定党代表的监督责任。●赋予舆论监督的法规保障地位。
● Formally est
角膜碱烧伤是眼科临床工作中常见的眼外伤之一,由于碱性物质有其特殊的化学性质,一旦接触角膜,引起比较严重的后果。我科自1997年6月～2002年4月共收治角膜碱烧伤42例60只眼,
香港位于广东珠江口东侧，扼中国华南门户，自古以来就是中国的领土。1842年8月29日，清政府被迫签订丧权辱国的《南京条约》，被英国正式侵占。次年6月26日，被强行宣布为殖民地，①由英
在高中地理教学工作中,教师们为了使其教学质量得到进一步的提高,让学生们对高中地理学科教学的内容进行全面了解,就将许多新型的教学方法引入到其中。而地理比较方法的应用,
过去的一年,上海的计算机产业在激烈的市场竞争中,开始步入快速发展的轨道。作为上海计算机产业的龙头企业——长江计算机(集团)公司,重塑了企业形象,也为上海计算机产业的
一旺季的烦恼惯例中一年一度的销售旺季又来到了。这个销售旺季对于笔记本电脑厂商和经销商来说是至关重要的,它关系到厂商和经销商下半年乃至全年销售计划能否顺利完成,所
据《O Plus E》1992年第147期报道,日本新技术事业团已开发高纯度、低晶格缺陷的GaAs单晶制造技术,即用蒸气控制法制作GaAs单晶的技术。这种单晶材料能提高发光二极管、半导