10~(-10)Pa 溅射离子泵的研制

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【摘要】

：

本文主要介绍１０－１０Ｐａ溅射离子泵的研制，提高极限真空和抽气速率的方法。 This article describes the development of 10-10Pa sputtering ion pump to improve the ultimate vacuum

【作者】

：

仇华兴孙仁君张介乐

【机构】

：

上海真空泵厂

【出处】

：

真空

【发表日期】

：

1998年03期

【关键词】

：

溅射离子泵 Pa 极限真空抽气速率高压电极储存环真空度真空测量重离子加速器除气

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本文主要介绍１０－１０Ｐａ溅射离子泵的研制，提高极限真空和抽气速率的方法。 This article describes the development of 10-10Pa sputtering ion pump to improve the ultimate vacuum and pumping rate of the method.

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