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国外研发出新一代半导体基板用碳化硅单晶片
国外研发出新一代半导体基板用碳化硅单晶片
来源 :功能材料信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:daidaide21
【摘 要】
:
据媒体报导,布里奇斯通公司最近研发出作为下一代半导体基板而引人注目的2英寸碳化硅(SiC)单晶片。这种SiC单晶片是采用该公司独立开发的从高纯粉末原料到最终产品连贯的
【作 者】
:
张忠模
【出 处】
:
功能材料信息
【发表日期】
:
2004年1期
【关键词】
:
半导体
碳化硅
单晶片
SIC
基板
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据媒体报导,布里奇斯通公司最近研发出作为下一代半导体基板而引人注目的2英寸碳化硅(SiC)单晶片。这种SiC单晶片是采用该公司独立开发的从高纯粉末原料到最终产品连贯的
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