【摘 要】
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最近,机械工业部沈阳真空技术研究所承担的部管科研项目—彩虹薄膜工艺,刀具镀膜和耐腐蚀泵三项科技成果通过了部级鉴定。 彩虹薄膜工艺是一项难度较大、技术较高的开发性课
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最近,机械工业部沈阳真空技术研究所承担的部管科研项目—彩虹薄膜工艺,刀具镀膜和耐腐蚀泵三项科技成果通过了部级鉴定。 彩虹薄膜工艺是一项难度较大、技术较高的开发性课题。经过三年的艰苦努力,解决了主要技术关键,在试验室条件下制出150 × 150毫米的彩虹薄膜样品,其光栅
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