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采用LPCVD和PECVD方法制作单层金属铝的多品硅纳米膜欧姆接触，并用X射线对其表征，说明铝膜具有多晶结构。在温度为450℃的条件下，分别对5min、20min和40min的不同退火时间进行测试，得到在20min时I—V特性曲线表现出好的欧姆接触，构成线性关系，方块电阻达1kΩ，与接触电阻率相吻合，传输长度变到15μm，接触电阻为30Ω，说明电流的传导能力变强。