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<正> 电子元件和电路制备技术的发展十分迅速,64k～256k位的超大规模集成电路已进入工业生产阶段,美国、日本1M位的在工业生产中已使用,并已在向4M位进行技术开发。在致力于半导体元件高性能化和高集成化的同时,不仅提出了一向监测甚严的气体中杂质问题,而且提出了过去从未预料到的
赴美、日气体过滤技术的考察
【摘 要】
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<正> 电子元件和电路制备技术的发展十分迅速,64k～256k位的超大规模集成电路已进入工业生产阶段,美国、日本1M位的在工业生产中已使用,并已在向4M位进行技术开发。在致力于半
【机 构】
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北京市特种气体研究所
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1988年02期
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