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本文以热力学与统计物理的理论为基础，对ＬＰＣＶＤＬＴＯ（低温氧化）工艺出现的问题进行了数理分析，从而确定了分子热运动的平均自由程与流量比及沉积压力之间的关系，并用其指导实际工作，从根本上解决反应气流不稳定这一技术难题。
LPCVDLTO的工艺研究
【摘 要】
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本文以热力学与统计物理的理论为基础，对ＬＰＣＶＤＬＴＯ（低温氧化）工艺出现的问题进行了数理分析，从而确定了分子热运动的平均自由程与流量比及沉积压力之间的关系，并用其指导实际工作，从根本上解
【机 构】
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电子工业部东北微电子研究所,辽宁省标准情报研究所
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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1997年4期
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