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利用电子束沉积方法在玻璃基底上制备了TiO2薄膜及zr掺杂TiOz薄膜．采用拉曼光谱仪和分光光度计对膜的结构和吸收光谱进行了表征；研究结果表明：退火温度为773K时，沉积得到的Ti02薄膜为锐钛矿结构的薄膜；Zr掺杂锐钛矿型TiO2，导致带隙减小，掺杂后在350—450nm附近的光吸收系数增大，TiO2的吸收带产生红移，增强了TiO2的光催化活性；1％掺杂量对光的吸收系数于大5％的掺杂量．