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插补常角法只需摆一个固定常角 ,即可测试各种进制高精度圆光栅的各项刻划误差
插补常角法检测圆光栅误差
【摘 要】
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插补常角法只需摆一个固定常角 ,即可测试各种进制高精度圆光栅的各项刻划误差
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所!成都610209
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1996年S1期
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