EUV光刻光源收集系统的光学设计

来源 :ChineseOpticsLetters | 被引量 : 0次 | 上传用户:striving123
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
Wolter I collector is the best collector for extreme ultraviolet (EUV) lithography, which has a series of nested mirrors. It has high collection efficiency and can obtain more uniform intensity distribution at the intermediate focus (IF). A new design with the calculation sequence from the outer mirror to the inner one on the premise of satisfying the requirements of the collector is introduced. Based on this concept, a computer program is established and the optical parameters of the collector using the program is calculated. The design results indicate that the collector satisfies all the requirements.
其他文献
期刊
期刊
本文首次提出一种散斑剪切相机.该相机能把曲率、扭率和斜率的二维信息同时记录在一张双曝光散斑图上.对散斑图进行滤波分析时在频谱面上出现十三块互不重叠的衍射晕.在适当的衍射晕上滤波即可获得二维曲率、扭率和斜率的等值全场条纹.
评述了亚亳米波段内波长固定的和波长可调谐的激光器的现状。波长固定的激光器包括放电泵浦气体激光器和光泵浦气体激光器。后一种激光器在亚亳米波段有1500多条激光谱线,并作了详细论述。概述了可调谐亚亳米波激光器和相干光源,它们是由半导体激光器、差频振荡器、光参量振荡器、产生边带的双光子混频和喇曼激光器。
期刊
期刊
对于远距离、大视场、多个运动目标的光电跟踪,现有光学系统形式难以同时兼顾大口径、大视场与高角分辨率的要求。通过模仿人眼小凹转动视觉生理机制,设计了一种轻型物方扫描校正镜组,具有中红外成像与激光测距的共口径同轴五反式新型光学系统。该光学系统主镜口径为1000mm,瞬时扫描有效口径为600mm,最大视场角达到20.7°,中波红外成像传感器像元角分辨率优于13!rad,激光测距单元作用距离达到20km。
期刊
给出了脉冲光学级联SF6 D2化学激光器的化学提取效率和时间特性。已表明:直接耦合级联P3(7)→P2(8)→P1(9)约能给出多重谱线总能量的53%,而转动耦合级联P3(6)→P2(8)→P1(10)和混合级联P3(6)→2(8)→P1(9)的效率稍低。已显示出:Ρ支谱线振荡的光腔参数、相对发射强度和固有的滞后时间,均对总的峰功率有强烈影响。
期刊
Particle nanotracking (PNT) is highly desirable in lab-on-a-chip systems for flexible and convenient multiparameter measurement. An ultrathin flat lens is the preferred imaging device in such a system, with the advantage of high focusing performance and c
期刊
提出了一种对条纹对比度和背景光进行校准的正交复合光三维测量方法。从参考平面的复合光栅像中解调获得各帧相移正弦条纹, 通过频域滤波的方法获取条纹的零频和基频分量, 计算出各帧相移正弦条纹相对第一帧正弦条纹的对比度和背景光比例系数, 并以此系数对实物测量时解调出来的各帧变形条纹对比度和背景光进行校准, 建立了新的三维测量数学模型。实验证明该方法能降低传统正交复合光三维测量方法中的解相误差, 提高系统的测量精度。