【摘 要】
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裂解炉是喷射炉衍生出来的一种新型分子束源,它能改进外延材料的质量。本文将介绍裂解炉的设计、性能和实验结果。
Pyrolysis furnace is a new type of molecular beam sou
【机 构】
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中国科学院半导体所 北京 100083
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裂解炉是喷射炉衍生出来的一种新型分子束源,它能改进外延材料的质量。本文将介绍裂解炉的设计、性能和实验结果。
Pyrolysis furnace is a new type of molecular beam source derived from injection furnace, which can improve the quality of the epitaxial material. This article will introduce the design, performance and experimental results of pyrolysis furnaces.
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