提拉法自动化单晶炉

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在汉堡菲利浦研究实验室设计和安装了一台用提拉法生长单晶,温度可达约2270K的自动化单晶炉。提拉装置有效行程为350毫米,炉膛直径为500毫米。晶转速度和拉速的均匀性优于1%,籽晶杆的不同心度不超过26微米。提拉装置的振动几乎可以全部消除。用25千瓦的射频发生器加热。晶体的外形、直径和长度用电子秤耦合于发生器的反馈回路来进行自动控制。用此单晶炉生长出直径达65毫米、重量为2.3千克的高质量石榴石单晶。
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