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期刊论文
γ—LiAlO2晶体的生长缺陷研究
γ—LiAlO2晶体的生长缺陷研究
来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:HongJuZhang
【摘 要】
:
γ-LiAlO2晶体是一种非常有前途的GaN衬底材料,本文利用化学腐蚀光学显微术和同步辐射X射线形貌术研究了LiAlO2晶体的缺陷.结果表明,提拉法生长的γ-LiAlO2晶体中的缺陷主要
【作 者】
:
杨卫桥
干福熹
邓佩珍
徐军
李杼智
蒋成勇
【机 构】
:
中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
:
人工晶体学报
【发表日期】
:
2002年6期
【关键词】
:
位错
同步辐射X射线形貌术
GaN衬底
γ-LiAlO2晶体
生长缺陷
研究
LiAlO2 crystaldefectsdislocationsynchrotr
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γ-LiAlO2晶体是一种非常有前途的GaN衬底材料,本文利用化学腐蚀光学显微术和同步辐射X射线形貌术研究了LiAlO2晶体的缺陷.结果表明,提拉法生长的γ-LiAlO2晶体中的缺陷主要为位错、包裹物和亚晶界.并发现在其(100)晶片上的腐蚀形貌两面有较大差异.
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