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采用过滤真空阴极直流弧源(Filtered Cathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(>6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.
超硬超厚类金刚石薄膜合成研究
【摘 要】
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采用过滤真空阴极直流弧源(Filtered Cathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(>6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.
【机 构】
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西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室;四川省人工器官重点实验室(四川成都)
【出 处】
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第五届中国功能材料及其学术会议
【发表日期】
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2004年10期
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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技