【摘 要】
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一、引言在过去比较长的时间内,我们一直采用液态硼酸三甲脂作为P型杂质扩散源。在实践过程中,我们感到硼酸三甲脂作为P型杂质扩散源有其缺点,比如均匀性、重复性不理想,控制比较困难,热分解过程中析出的原子碳腐蚀石英管道等。因此,根据毛主席精益求精的教导,要求寻找更为理想的P型杂质扩散源。我们在以前使用二氧化二硼、氮化硼的认识基础上,经过多次反复实验,证实氮化硼固态扩散源优越于硼酸三甲脂液态扩散源
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<正> 一、引言在过去比较长的时间内,我们一直采用液态硼酸三甲脂作为P型杂质扩散源。在实践过程中,我们感到硼酸三甲脂作为P型杂质扩散源有其缺点,比如均匀性、重复性不理想,控制比较困难,热分解过程中析出的原子碳腐蚀石英管道等。因此,根据毛主席精益求精的教导,要求寻找更为理想的P型杂质扩散源。我们在以前使用二氧化二硼、氮化硼的认识基础上,经过多次反复实验,证实氮化硼固态扩散源优越于硼酸三甲脂液态扩散源。
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