【摘 要】
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等离子体增强化学气相沉积是太阳能硅片生产工艺流程中一道重要的工序。硅片经过该工序后的表面破损检测和减反膜颜色的检测主要通过人工完成，存在不稳定、高碎片率和低速率等
【机 构】
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江南大学轻工过程先进控制教育部重点实验室
【基金项目】
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国家863计划项目(2009AA05Z203);江苏高校优势学科建设工程项目
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等离子体增强化学气相沉积是太阳能硅片生产工艺流程中一道重要的工序。硅片经过该工序后的表面破损检测和减反膜颜色的检测主要通过人工完成，存在不稳定、高碎片率和低速率等问题，需要利用机器视觉技术，开发硅片视觉检测系统。文中根据具体的测试要求完成光学设备选型，利用“Visionpro”视觉开发软件设计硅片破损检测与颜色检测程序。实际使用结果表明，该系统破损测量的精度在0．2mm以内，图像颜色检测满足实际应用需求。
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