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本文研究了涡轮分子泵的一种新颖除气法“内加热法”。详细介绍了此法的工作原理、装置结构、除气效果以及它对泵所产生的影啊。实践表明,这种除气法具有结构简单、操作方便、除气彻底、工作效率高、达到极限真空时间短并能实现快速制动等优点。
涡轮分子泵的“内加热”除气法
【摘 要】
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本文研究了涡轮分子泵的一种新颖除气法“内加热法”。详细介绍了此法的工作原理、装置结构、除气效果以及它对泵所产生的影啊。实践表明,这种除气法具有结构简单、操作方便
【机 构】
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浙江大学,浙江大学,浙江大学,浙江大学,浙江大学,浙江大学,浙江大学,复旦大学,复旦大学,复旦大学
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1987年05期
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