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一、何谓微型机械技术微型机械技术目前并没有一个严格的定义，一般认为尺度在微米、纳米级的机械和电子技术即为微型机械技术。微型机械技术包括传感器技术、微型发动机技术、微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术、纳米技术、微型机械技术、微电子技术、微组装技术等。其中涉...
微型机械技术
【摘 要】
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一、何谓微型机械技术微型机械技术目前并没有一个严格的定义，一般认为尺度在微米、纳米级的机械和电子技术即为微型机械技术。微型机械技术包括传感器技术、微型发动机技术、
【出 处】
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全球科技经济瞭望
【发表日期】
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1998年8期
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