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综述介绍了脉冲激光作为热源用于焊接的工艺特点，以及激光束质量或模式对焊接质量的重要意义。简要总结了国内外集成电路制造中脉冲激光焊接技术的应用和发展情况。
脉冲激光焊接技术及在集成电路制造中的应用
【摘 要】
：
综述介绍了脉冲激光作为热源用于焊接的工艺特点，以及激光束质量或模式对焊接质量的重要意义。简要总结了国内外集成电路制造中脉冲激光焊接技术的应用和发展情况。
【机 构】
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华中科技大学
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2002年4期
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