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不同磷压下生长的MOVPEn—GaP中的Ni杂质浓度

来源 :北京师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：erapple

【摘 要】

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用二次离子质谱（SIMS）技术测定了不同磷压下生长的MOVPE n-GaP中的Ni杂质相对浓度.所得结果与用结电容技术测得的同一系列样品中存在的一个具有光-热激发行为的深中心D<sub>5</

【作 者】

：

杨锡震 丁楠 丁维清 

【机 构】

：

北京师范大学物理系,北京师范大学物理系,北京师范大学分析测试中心

【出 处】

：

北京师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

1989年1期

【关键词】

：

半导体 磷化镓 镍 MOVPE SIMS semiconductor  GaP  sacondary ion mass spectroscopy  Ni. 

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用二次离子质谱（SIMS）技术测定了不同磷压下生长的MOVPE n-GaP中的Ni杂质相对浓度.所得结果与用结电容技术测得的同一系列样品中存在的一个具有光-热激发行为的深中心D₅的浓度变化规律相符,为将D₅中心的化学本质指认为Ni（d⁹）提供了直接证据.对MOVPE n-Gap中Ni杂质随磷压变化规律作了热化学分析,对实测结果得到了合理解释.

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