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氢氟酸溶液常用于硅酸盐玻璃的表面处理,其化学反应机理一直备受关注。本文从氢氟酸电离反应出发,全面归纳氢氟酸稀溶液电离机理、平衡常数以及各电离产物的作用,重点总结了HF-SiO2反应动力学、各研究理论模型、反应速率公式和反应机理。针对目前硅酸盐玻璃的化学处理研究现状,认为硅酸盐玻璃在高浓度氢氟酸溶液和氢氟酸/强酸混合溶液中化学处理的应用将是未来的研究方向。